SE401 在線式激光橢偏儀
名稱：涂鍍層測厚儀
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型號：
簡介：SE401 在線式激光橢偏儀簡單信息： 在線式激光橢偏儀，可以在線測量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的單波長橢偏儀， 使用旋轉分析器，對測量橢偏角度有高重復性和長期穩(wěn)定性，快速測量數據，基于windows操作系統的軟件使測量精確、快速、簡...
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- 產品介紹
SE401 在線式激光橢偏儀簡單信息： 在線式激光橢偏儀，可以在線測量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的單波長橢偏儀， 使用旋轉分析器，對測量橢偏角度有高重復性和長期穩(wěn)定性，快速測量數據，基于windows操作系統的軟件使測量精確、快速、簡單。SE 401過程控制橢偏儀適用于監(jiān)控動態(tài)過程，如不同環(huán)境下單層膜的生長或蝕刻過程。
SE401 在線式激光橢偏儀規(guī)格
·激光波長 632.8 nm
·測量時間最小80 ms（測量Ψ,Δ數據）。
·接口配置，用于將橢偏儀安裝在反應腔上。
·激光聚焦高度調節(jié)
·應力釋放窗口
·基于windows系統的操作分析軟件，在線監(jiān)控橢偏測量并計算單層膜的膜厚、折射率。
選項
·高真空應力釋放窗口
·使橢偏儀正面向上的附加置換單元
·雙波長激光 (可選405 nm或1550 nm)
·角度計可調節(jié)入射角，步進值5度。載物臺直徑150mm
·TIMECALC 軟件，動態(tài)橢偏測量模擬和分析軟件。
廠商名稱： SENTHCH
商品名稱： 在線式激光橢偏儀
商品型號： SE401
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